EP1354138B1 - Turbomolekularvakuumpumpe mit rotor- und statorschaufeln - Google Patents

Turbomolekularvakuumpumpe mit rotor- und statorschaufeln Download PDF

Info

Publication number
EP1354138B1
EP1354138B1 EP01994664A EP01994664A EP1354138B1 EP 1354138 B1 EP1354138 B1 EP 1354138B1 EP 01994664 A EP01994664 A EP 01994664A EP 01994664 A EP01994664 A EP 01994664A EP 1354138 B1 EP1354138 B1 EP 1354138B1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
rotor
vanes
convex
turbomolecular
vacuum pump
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
EP01994664A
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
EP1354138A1 (de
Inventor
Christian Beyer
Heinz ENGLÄNDER
Peter Klingner
Martin Laerbusch
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Leybold GmbH
Original Assignee
Leybold Vakuum GmbH
Leybold Vacuum GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Leybold Vakuum GmbH, Leybold Vacuum GmbH filed Critical Leybold Vakuum GmbH
Publication of EP1354138A1 publication Critical patent/EP1354138A1/de
Application granted granted Critical
Publication of EP1354138B1 publication Critical patent/EP1354138B1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/26—Rotors specially for elastic fluids
    • F04D29/32—Rotors specially for elastic fluids for axial flow pumps
    • F04D29/321—Rotors specially for elastic fluids for axial flow pumps for axial flow compressors
    • F04D29/324—Blades
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F05—INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
    • F05D—INDEXING SCHEME FOR ASPECTS RELATING TO NON-POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES OR ENGINES, GAS-TURBINES OR JET-PROPULSION PLANTS
    • F05D2250/00—Geometry
    • F05D2250/70—Shape

Definitions

  • the invention relates to a turbomolecular vacuum pump with the features of the preamble of patent claim 1.
  • Turbomolecular vacuum pumps are constructed in the manner of a turbine with stator and rotor blades. A significant pumping effect is achieved only in the range of molecular flow (p ⁇ 10 -3 mbar). In the adjoining area of the Knudsen current, the delivery rates decrease more and more with increasing pressure.
  • the pumping principle of a turbomolecular vacuum pump is based on the fact that the gas molecules to be pumped receive an impulse in the conveying direction as a result of collisions with the rotor and stator blades. This effect is achieved only if the peripheral speeds of the rotor blades are of the order of the average thermal velocity of the gas molecules to be pumped.
  • the average thermal velocity of gas molecules depends on their molar mass. It is about 1760 m / s for H 2 (mass 2) and about 470 m / s for N 2 (mass 28). These numbers indicate that the pumping properties of a turbomolecular vacuum pump are gas-dependent. This is true less for the pumping speed, but more so for the compression ratio (ratio between the partial pressure of a gas component on the pressure side of the turbomolecular vacuum pump to the partial pressure of this gas component on the high vacuum side of this pump). The compression ratio of a known turbomolecular vacuum pump increases between the masses of the aforementioned gases H 2 and N 2 of about 10 3 to 10 8 at.
  • the usual design of the blades of a turbomolecular pump is from the DE-U 72 37 362 known. They have flat boundary surfaces. Their angle of attack (angle between the plane of the blades and a plane perpendicular to the axis of rotation) decreases from the suction side of the pump to the pressure side.
  • the object of the present invention is to improve the conveying properties of a turbomolecular vacuum pump for gases with a low specific mass.
  • the object is achieved, that is, the promotion of light gases is improved.
  • the advantage is achieved that the measures according to the invention do not affect the compression and delivery rates of the pump (compression, pumping speed, throughput) for gases with higher molar mass.
  • the blades designed according to the invention retain their improved conveying properties well into the Kundsen range, so that the fore-vacuum resistance of a turbomolecular pump equipped therewith is considerably more favorable compared with the prior art or the outlay for the backing pumps can be significantly reduced.
  • the illustrated turbomolecular vacuum pump 1 comprises a housing / stator 2, an inlet 3, an outlet 4, stator blades 5 and rotor blades 6.
  • the stator blades 5 are components of Statorschaufelschschsch, which are in communication with the housing / stator 2.
  • the rotor blades 6 are components of rotor blade rows, which are fastened to the rotary body 7, for example a shaft, or are formed integrally therewith. The rotor and stator blade rows alternately engage with oppositely directed angles of attack and cause the delivery of the gases from the inlet 3 to the outlet 4.
  • FIGS. 2 to 5 show different versions of inventively designed blades (unwound). Their respective upper edge 8 in the figures faces the suction side of the pump 1, its respective lower edge 9 of the pressure side. Shown are each sections through the blades 5,6 and approximately perpendicular to the substantially radially directed longitudinal axes of the blades. Parallel to these longitudinal axes of the blades extend - as shown in each case - the convex and / or concave-shaped areas of the front and back sides. The direction of rotation of the blades 5, 6 is in each case marked by an arrow 10.
  • FIGS. 2 and 3 show exemplary embodiments of rotor blades 6, the front sides are denoted by 11 and the back sides with 12.
  • the rear sides 12 of the blades 6 on the suction side a convex portion 13 and the pressure side, a concave portion 14.
  • the front side 11 is flat in the region 15 of its suction side (incoming flow, inflow), convex in the region 16 of its pressure side (outflow).
  • the front sides 11 of the blades 6 have concave (suction side) and convex (pressure side) regions 15 and 16, respectively, while the back sides 12 are convex on the intake side (region 13) and flat on the pressure side (region 14).
  • the front and rear boundary surfaces converge toward one another on the suction side and the pressure side with acute angles, whereby the edges 8, 9 of the blades are formed.
  • FIG. 4 shows - also unwound - a version with three rows of rotor blades, which are components of the rotor system 7, and two Statorschaufelschsch, which are components of the stator 2.
  • the rotor blades 6 are all formed in such a way that they each have concave and convex portions on their front and back sides (see also FIG FIG. 5 ).
  • the stator blades 5 of the upper row of stator blades have in a known manner planar front and rear sides, while the stator blades 5 of the lower row of blades are designed according to the invention.
  • the cross section of the stator blades 5 is to be designed such that they are substantially mirror-inverted to the adjacent rotor blades, ie, have oppositely directed angle of attack.
  • FIG. 5 a blade 6 is shown enlarged. Some tangents t 1 to t 5 are drawn. It follows that already each wing 6 practically has a variety of angles of attack. In contrast, the angle of attack in the prior art varies from stage to stage. The radii of the concave and convex areas are chosen so that the tangents always have positive angles of attack.
  • the tangent t 2 is a tangent through the inflection point 18 of the rear boundary surface of the blade 6. Also marked is the (axial) height h of the blade 6. The inflection point 18 - and also the inflection point 19 of the leading boundary surface 11 - are at half the height h of the blade 6. The tangent t 2 has the angle of attack ⁇ , which - as in the prior art - can decrease from the suction side to the pressure side. Corresponding mirror image expedient and the stator blades 5 are formed.

Description

  • Die Erfindung bezieht sich auf eine Turbomolekularvakuumpumpe mit den Merkmalen des Oberbegriffs des Patentanspruchs 1.
  • Turbomolekularvakuumpumpen sind nach Art einer Turbine mit Stator- und Rotorschaufeln aufgebaut. Eine maßgebliche Pumpwirkung wird nur im Bereich der Molekularströmung erreicht (p < 10-3 mbar). Im sich anschließenden Bereich der Knudsen-Strömung lassen die Förderleistungen mit zunehmendem Druck mehr und mehr nach.
  • Das Pumpprinzip einer Turbomolekularvakuumpumpe beruht darauf, dass die abzupumpenden Gasmoleküle durch Zusammenstöße mit den Rotor- und Statorschaufeln einen Impuls in Förderrichtung erhalten. Diese Wirkung wird nur dann erreicht, wenn die Umfangsgeschwindigkeiten der Rotorschaufeln in der Größenordnung der mittleren thermischen Geschwindigkeit der zu pumpenden Gasmoleküle liegen.
  • Die mittlere thermische Geschwindigkeit von Gasmolekülen ist abhängig von ihrer molaren Masse. Sie beträgt für H2 (Masse 2) ca. 1760 m/s und für N2 (Masse 28) ca. 470 m/s. Diese Zahlen lassen erkennen, dass die Fördereigenschaften einer Turbomolekularvakuumpumpe gasartabhängig sind. Dieses gilt weniger für das Saugvermögen, aber um so mehr für das Kompressionsverhältnis (Verhältnis zwischen dem Partialdruck einer Gaskomponente auf der Druckseite der Turbomolekularvakuumpumpe zum Partialdruck dieser Gaskomponente auf der Hochvakuumseite dieser Pumpe). Das Kompressionsverhältnis einer bekannten Turbomolekularvakuumpumpe steigt zwischen den Massen der vorgenannten Gase H2 und N2 von etwa 103 bis 108 an.
  • Die übliche Ausbildung der Schaufeln einer Turbomolekularpumpe ist aus der DE-U 72 37 362 bekannt. Sie weisen ebene Begrenzungsflächen auf. Ihr Anstellwinkel (Winkel zwischen der Ebene der Schaufeln und einer zur Rotationsachse senkrechten Ebene) nimmt von der Saugseite der Pumpe zur Druckseite ab.
  • Aus der EP-A-829 645 ist es bekannt, Rotorschaufeln einzusetzen, deren Begrenzungsflächen nicht mehr eben sind. Es wird vorgeschlagen, die Rückseite (in Bezug auf ihre Drehrichtung) der Rotorschaufeln gewölbt zu gestalten. Dadurch sollen die bei Rotorschaufeln mit ebenen Begrenzungsflächen auf ihrer Rückseite auftretenden, den Antriebsmotor belastenden Turbulenzen vermieden werden.
  • Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die Fördereigenschaften einer Turbomolekularvakuumpumpe für Gase mit geringer spezifischer Masse zu verbessern.
  • Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe durch die kennzeichnenden Merkmale der Patentansprüche gelöst.
  • Durch die Erfindung wird die gestellte Aufgabe gelöst, d.h., die Förderung leichter Gase wird verbessert. Darüberhinaus wird der Vorteil erreicht, dass die Massnahmen nach der Erfindung die Verdichtungs- und Förderleistungen der Pumpe (Kompression, Saugvermögen, Durchsatz) für Gase mit höherer molarer Masse nicht beeinträchtigen. Schließlich behalten die erfindungsgemäß gestalteten Schaufeln ihre verbesserten Fördereigenschaften bis weit in den Kundsen-Bereich hinein, so dass die Vorvakuumbeständigkeit einer damit ausgerüsteten Turbomolekularpumpe im Vergleich zum Stand der Technik wesentlich günstiger ist bzw. der Aufwand für die Vorvakuumpumpen maßgeblich reduziert werden kann.
  • Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung sollen anhand von in den Figuren dargestellten Ausführungsbeispielen erläutert werden. Es zeigen
    • Figur 1 schematisch eine Turbomolekularvakuumpumpe,
    • Figuren 2 und 3 Ausführungen von erfindungsgemäß gestalteten Rotorschaufeln, bei denen entweder die Rückseite oder die Vorderseite konvexe und konkave Bereiche aufweist, sowie
    • Figuren 4 und 5 Ausführungen von erfindungsgemäß gestalteten Schaufeln, bei denen beide Seiten konvexe und konkave Bereiche aufweisen.
  • Die in Figur 1 dargestellte Turbomolekularvakuumpumpe 1 umfaßt ein Gehäuse/Stator 2, einen Einlass 3, einen Auslass 4, Statorschaufeln 5 und Rotorschaufeln 6 auf. In bekannter, nicht im einzelnen dargestellter Weise sind die Statorschaufeln 5 Bestandteile von Statorschaufelreihen, die mit dem Gehäuse/Stator 2 in Verbindung stehen. Die Rotorschaufeln 6 sind Bestandteile von Rotorschaufelreihen, die am Rotationskörper 7, z.B. einer Welle, befestigt oder damit einteilig ausgebildet sind. Die Rotor- und Statorschaufelreihen greifen abwechselnd mit entgegengesetzt gerichteten Anstellwinkeln ineinander und bewirken die Förderung der Gase vom Einlass 3 zum Auslass 4.
  • Die Figuren 2 bis 5 zeigen verschiedene Ausführungen von erfindungsgemäß gestalteten Schaufeln (abgewickelt). Ihre in den Figuren jeweils obere Kante 8 ist der Saugseite der Pumpe 1 zugewandt, ihre jeweils untere Kante 9 der Druckseite. Dargestellt sind jeweils Schnitte durch die Schaufeln 5,6 und zwar etwa senkrecht zu den im wesentlichen radial gerichteten Längsachsen der Schaufeln. Parallel zu diesen Längsachsen der Schaufeln erstrecken sich - wie jeweils dargestellt - die konvex und/oder konkav gestalteten Bereiche der Vorder- und Rückseiten. Die Drehrichtung der Schaufeln 5,6 ist jeweils durch einen Pfeil 10 gekennzeichnet.
  • Die Figuren 2 und 3 zeigen Ausführungsbeispiele für Rotorschaufeln 6, deren Vorderseiten mit 11 und deren Rückseiten mit 12 bezeichnet sind. Bei der Ausführung nach Figur 2 weisen die Rückseiten 12 der Schaufeln 6 saugseitig einen konvexen Bereich 13 und druckseitig einen konkaven Bereich 14 auf. Die Vorderseite 11 ist im Bereich 15 ihrer Saugseite (Anströmung, Zuströmung) eben, im Bereich 16 ihrer Druckseite (Abströmung) konvex gestaltet.
  • Bei der Ausführung nach Figur 3 weisen die Vorderseiten 11 der Schaufeln 6 konkave (saugseitig) und konvexe (druckseitig) Bereiche 15 bzw. 16 auf, während die Rückseiten 12 saugseitig konvex (Bereich 13) und druckseitig eben (Bereich 14) ausgebildet sind. Die vorderseitigen und rückseitigen Begrenzungsflächen laufen saugseitig und druckseitig mit spitzen Winkeln aufeinander zu, wodurch die Kanten 8, 9 der Schaufeln gebildet werden.
  • Figur 4 zeigt - ebenfalls abgewickelt - eine Ausführung mit drei Rotorschaufelreihen, die Bestandteile des Rotorsystems 7 sind, sowie zwei Statorschaufelreihen, die Bestandteile des Stators 2 sind. Die Rotorschaufeln 6 sind sämtlich in der Weise ausgebildet, dass sie auf ihren Vorder- und Rückseiten jeweils konkave und konvexe Bereiche aufweisen (vgl. auch Figur 5). Die Statorschaufeln 5 der oberen Statorschaufelreihe weisen in bekannter Weise ebene Vorder- und Rückseiten auf, während die Statorschaufeln 5 der unteren Schaufelreihe erfindungsgemäß gestaltet sind. Dabei ist der Querschnitt der Statorschaufeln 5 derart zu gestalten, dass sie zu den benachbarten Rotorschaufeln im wesentlichen spiegelbildlich sind, d.h., entgegensetzt gerichtete Anstellwinkel aufweisen.
  • In Figur 5 ist eine Schaufel 6 vergrößert dargestellt. Einige Tangenten t1 bis t5 sind eingezeichnet. Daraus geht hervor, dass bereits jeder Flügel 6 praktisch eine Vielzahl von Anstellwinkeln hat. Demgegenüber ändert sich der Anstellwinkel beim Stand der Technik von Stufe zu Stufe. Die Radien der konkaven und konvexen Bereiche sind so gewählt, dass die Tangenten stets positive Anstellwinkel haben.
  • Die Tangente t2 ist eine Tangente durch den Wendepunkt 18 der rückseitigen Begrenzungsfläche der Schaufel 6. Eingezeichnet ist weiterhin die (axiale) Höhe h der Schaufel 6. Der Wendepunkt 18 - und auch der Wendepunkt 19 der vorlaufenden Begrenzungsfläche 11 - liegen auf der halben Höhe h der Schaufel 6. Die Tangente t2 hat den Anstellwinkel α, der - wie beim Stand der Technik - von der Saugseite zur Druckseite abnehmen kann. Entsprechend spiegelbildlich sind zweckmäßig auch die Statorschaufeln 5 ausgebildet.

Claims (9)

  1. Turbomolekularvakuumpumpe (1) mit einem Einlass (3) und einem Auslass (4) sowie mit zwischen Einlass und Auslass befindlichen Rotor- und Statorschaufeln (5 bzw. 6), wobei die Rotorschaufeln (6) in Bezug auf ihre Drehrichtung Vorderseiten (11) und Rückseiten (12) aufweisen, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest ein Teil der Rotorschaufeln (6) eine Rückseite (12) aufweist, die saugseitig konvex und druckseitig konkav gestaltet ist.
  2. Turbomolekularpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorderseite (11) der Rotorschaufeln (6) saugseitig eben und druckseitig konvex gestaltet ist.
  3. Turbomolekularvakuumpumpe (1) mit einem Einlass (3) und einem Auslass (4) sowie mit zwischen Einlass und Auslass befindlichen Rotor- und Statorschaufeln (5 bzw. 6), wobei die Rotorschaufeln (6) in Bezug auf ihre Drehrichtung Vorderseiten (11) und Rückseiten (12) aufweisen, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest ein Teil der Rotorschaufeln (6) eine Vorderseite (11) aufweist, die saugseitig konkav und druckseitig konvex gestaltet ist.
  4. Turbomolekularpumpe nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Rückseite (12) der Rotorschaufeln (6) saugseitig konvex und druckseitig eben ausgebildet ist.
  5. Turbomolekularvakuumpumpe (1) mit einem Einlass (3) und einem Auslass (4) sowie mit zwischen Einlass und Auslass befindlichen Rotor- und Statorschaufeln (5 bzw. 6), wobei die Rotorschaufeln (6) in Bezug auf ihre Drehrichtung Vorderseiten (11) und Rückseiten (12) aufweisen, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest ein Teil der Rotorschaufeln (6) eine Rückseite (12) nach Anspruch 1 und eine Vorderseite (11) nach Anspruch 3 aufweist.
  6. Turbomolekularpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die vorderseitigen und die rückseitigen Begrenzungsflächen der Schaufeln im Bereich der seitlichen Kanten der Schaufeln spitz zulaufen.
  7. Turbomolekularpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Radien der konkaven und konvexen Bereiche so gewählt sind, dass die Tangenten (t1 bis t5) im Bereich der konkaven und konvexen Bereiche positive Anstellwinkel haben.
  8. Turbomolekularpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Wendepunkte (18, 19) der Begrenzungsflächen auf der halben Höhe (h) der Schaufeln (5, 6) liegen.
  9. Turbomolekularpumpe nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Tangente (t2) durch den/die Wendepunkte (18, 19) einen Anstellwinkel (α) haben, der von der Saugseite zur Druckseite abnimmt.
EP01994664A 2001-01-25 2001-11-15 Turbomolekularvakuumpumpe mit rotor- und statorschaufeln Expired - Lifetime EP1354138B1 (de)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10103230A DE10103230A1 (de) 2001-01-25 2001-01-25 Turbomolekularvakuumpumpe mit Rotor-und Statorschaufeln
DE10103230 2001-01-25
PCT/EP2001/013204 WO2002059483A1 (de) 2001-01-25 2001-11-15 Turbomolekularvakuumpumpe mit rotor- und statorschaufeln

Publications (2)

Publication Number Publication Date
EP1354138A1 EP1354138A1 (de) 2003-10-22
EP1354138B1 true EP1354138B1 (de) 2008-09-10

Family

ID=7671659

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP01994664A Expired - Lifetime EP1354138B1 (de) 2001-01-25 2001-11-15 Turbomolekularvakuumpumpe mit rotor- und statorschaufeln

Country Status (5)

Country Link
US (1) US6910861B2 (de)
EP (1) EP1354138B1 (de)
JP (1) JP3974529B2 (de)
DE (2) DE10103230A1 (de)
WO (1) WO2002059483A1 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102009027834B4 (de) * 2008-07-22 2013-04-11 Osaka Vacuum, Ltd. Turbomolekularpumpe

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102004012713A1 (de) * 2004-03-16 2005-10-06 Pfeiffer Vacuum Gmbh Turbomolekularpumpe
DE102006020081A1 (de) * 2006-04-29 2007-10-31 Pfeiffer Vacuum Gmbh Rotor- oder Statorscheibe für eine Molekularpumpe
US8221098B2 (en) * 2009-03-09 2012-07-17 Honeywell International Inc. Radial turbomolecular pump with electrostatically levitated rotor
DE102013219043A1 (de) 2013-09-23 2015-03-26 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Legierungen von Rotoren einer Turbomolekularpumpe
DE102013219050B3 (de) * 2013-09-23 2015-01-22 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Hochleistungsrotoren einer Turbomolekularpumpe
EP3093496B1 (de) * 2015-05-15 2019-03-06 Pfeiffer Vacuum Gmbh Rotor einer vakuumpumpe
GB2592043A (en) * 2020-02-13 2021-08-18 Edwards Ltd Axial flow vacuum pump
GB2612781B (en) * 2021-11-10 2024-04-10 Edwards Ltd Turbomolecular pump bladed disc

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3128939A (en) * 1964-04-14 Szydlowski
US2484554A (en) * 1945-12-20 1949-10-11 Gen Electric Centrifugal impeller
FR1306013A (fr) * 1961-08-04 1962-10-13 Snecma Perfectionnements aux pompes à vide turbomoléculaires
DE7237362U (de) * 1972-10-12 1973-01-11 Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg Turbomolekularvakuumpumpe
US4227855A (en) * 1978-08-25 1980-10-14 Cummins Engine Company, Inc. Turbomachine
US4653976A (en) * 1982-09-30 1987-03-31 General Electric Company Method of compressing a fluid flow in a multi stage centrifugal impeller
JPH1089284A (ja) * 1996-09-12 1998-04-07 Seiko Seiki Co Ltd ターボ分子ポンプ
JP3047292B1 (ja) * 1998-11-24 2000-05-29 セイコー精機株式会社 ターボ分子ポンプ及び真空装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102009027834B4 (de) * 2008-07-22 2013-04-11 Osaka Vacuum, Ltd. Turbomolekularpumpe

Also Published As

Publication number Publication date
DE50114317D1 (de) 2008-10-23
US20040037695A1 (en) 2004-02-26
JP2004536989A (ja) 2004-12-09
WO2002059483A1 (de) 2002-08-01
US6910861B2 (en) 2005-06-28
EP1354138A1 (de) 2003-10-22
JP3974529B2 (ja) 2007-09-12
DE10103230A1 (de) 2002-08-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69915283T2 (de) Kreiselrad für turbomaschinen
EP1875045B1 (de) Turbinenrad
EP1632662A2 (de) Strömungsarbeitsmaschine mit Fluidentnahme
EP1354138B1 (de) Turbomolekularvakuumpumpe mit rotor- und statorschaufeln
EP2275643B1 (de) Triebwerkschaufel mit überhöhter Vorderkantenbelastung
EP1252445B1 (de) Turbomolekularpumpe
DE2540733B2 (de) Axialgebläse mit Laufschaufeln
DE3334880A1 (de) Mehrstufiger radialverdichter, radialrad und verfahren zum verdichten eines fluids
EP2249044A3 (de) Strömungsarbeitsmaschine mit Fluidentnahme
EP2226509A3 (de) Strömungsarbeitsmaschine mit Fluidzufuhr zur Grenzschichtbeeinflussung
CH678352A5 (de)
EP1937980B1 (de) Rotor für eine strömungsmaschine und eine strömungsmaschine
CH646229A5 (de) Verfahren zur herstellung eines rotors mit mindestens einem schaufelkranz fuer eine turbomolekularpumpe und nach diesem verfahren hergestellter rotor.
DE2113514B2 (de) Überschall-Axialverdichter mit einem zylindrischen oder konischen divergierenden die Einlauföffnung hinten verlängernden Körper
DE1428273A1 (de) Axialventilator
EP0874161A1 (de) Kreiselpumpe
DE19632874A1 (de) Reibungsvakuumpumpe
EP2783073B1 (de) Flüssigkeitsring-vakuumpumpe und flügelrad dafür
DE2258737A1 (de) Seitenkanalverdichter
DE3210161C1 (de) Fluessigkeitsringkompressor fuer Gase
WO2020126413A1 (de) Turboverdichter mit angepasster meridiankontur der schaufeln und verdichterwand
WO2001011240A1 (de) Reibungsvakuumpumpe mit pumpaktiven elementen
DE60311165T2 (de) Kreiselpumpe für niedrige Flussraten mit verbesserter Ansaughöhe
DE202018106513U1 (de) Diagonalventilator mit optimiertem Diagonallaufrad
DE10124339B4 (de) Rotorscheiben mit Schaufeln für eine Turbomolekularpumpe

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

17P Request for examination filed

Effective date: 20030620

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

RAP1 Party data changed (applicant data changed or rights of an application transferred)

Owner name: LEYBOLD VACUUM GMBH

GRAP Despatch of communication of intention to grant a patent

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR1

GRAS Grant fee paid

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR3

RBV Designated contracting states (corrected)

Designated state(s): CH DE FR GB IT LI

GRAA (expected) grant

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009210

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: B1

Designated state(s): CH DE FR GB IT LI

REG Reference to a national code

Ref country code: GB

Ref legal event code: FG4D

Free format text: NOT ENGLISH

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: EP

REF Corresponds to:

Ref document number: 50114317

Country of ref document: DE

Date of ref document: 20081023

Kind code of ref document: P

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: PFA

Owner name: OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH

Free format text: LEYBOLD VACUUM GMBH#BONNER STRASSE 498#50968 KOELN (DE) -TRANSFER TO- OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH#BONNER STRASSE 498#50968 KOELN (DE)

Ref country code: CH

Ref legal event code: NV

Representative=s name: TROESCH SCHEIDEGGER WERNER AG

PLBE No opposition filed within time limit

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009261

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: NO OPPOSITION FILED WITHIN TIME LIMIT

26N No opposition filed

Effective date: 20090611

REG Reference to a national code

Ref country code: FR

Ref legal event code: PLFP

Year of fee payment: 15

REG Reference to a national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: R082

Ref document number: 50114317

Country of ref document: DE

Representative=s name: DOMPATENT VON KREISLER SELTING WERNER - PARTNE, DE

Ref country code: DE

Ref legal event code: R081

Ref document number: 50114317

Country of ref document: DE

Owner name: LEYBOLD GMBH, DE

Free format text: FORMER OWNER: LEYBOLD VAKUUM GMBH, 50968 KOELN, DE

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: PFA

Owner name: LEYBOLD GMBH, DE

Free format text: FORMER OWNER: OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH, DE

REG Reference to a national code

Ref country code: FR

Ref legal event code: PLFP

Year of fee payment: 16

REG Reference to a national code

Ref country code: FR

Ref legal event code: CD

Owner name: LEYBOLD GMBH

Effective date: 20170317

REG Reference to a national code

Ref country code: FR

Ref legal event code: PLFP

Year of fee payment: 17

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: IT

Payment date: 20201130

Year of fee payment: 20

Ref country code: DE

Payment date: 20201130

Year of fee payment: 20

Ref country code: FR

Payment date: 20201120

Year of fee payment: 20

Ref country code: GB

Payment date: 20201123

Year of fee payment: 20

Ref country code: CH

Payment date: 20201124

Year of fee payment: 20

REG Reference to a national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: R071

Ref document number: 50114317

Country of ref document: DE

Ref country code: CH

Ref legal event code: PL

REG Reference to a national code

Ref country code: GB

Ref legal event code: PE20

Expiry date: 20211114

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Free format text: LAPSE BECAUSE OF EXPIRATION OF PROTECTION

Effective date: 20211114